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渦流涂鍍層測厚儀工作原理

點擊次數(shù):873 更新時間:2022-04-06

渦流涂鍍層測厚儀工作原理

        1、基本原理
        渦流鍍層測厚儀的基本工作原理是當探頭與待測樣品接觸時,探頭裝置產(chǎn)生的高頻電磁場使置于探頭下方的金屬導體產(chǎn)生渦流。它的幅度和相位是導體和探頭之間的非導電涂層厚度的函數(shù)。即渦流產(chǎn)生的交變電磁場會改變探頭參數(shù),而探頭參數(shù)變量的大小,再對這個電信號進行轉(zhuǎn)換處理,就可以得到被測涂層的厚度。
         2、影響測量精度的原因
        (1)當覆蓋層厚度大于25μm時,誤差與覆蓋層厚度近似成正比;
         (2)母材的電導率對測量有影響,這與母材的材料成分和熱處理方法有關;
         (3)任何一種測厚儀都要求母材有一個臨界厚度,只有大于這個厚度,測量才不會受到母材厚度的影響;
         (4)渦流測厚儀器對圖案測量有邊緣效應,即靠近圖案邊緣或內(nèi)角的測量不可靠。
         (5) 樣品的曲率對測量有影響,這種影響會隨著曲率半徑的減小而顯著增加;
         (6)母材和覆蓋層的表面粗糙度影響測量精度,粗糙度增大,影響增大;
         (7)渦流測厚儀對阻止探頭與被覆層表面緊密接觸的粘附物質(zhì)敏感。因此,測量前應清除探頭表面和覆蓋層的污垢;探頭與測試表面保持恒定壓力垂直接觸。

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